機器パラメーター
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電源 |
220V 50Hz |
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電流 |
6.3A |
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プレートの直径 |
300mm、350mm、420mm |
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プレート速度 |
0-120 rpm(範囲を調整できます) |
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ジグ回転速度 |
0-120 rpm(範囲を調整できます) |
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作業時間 |
0-10時間 |
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許容可能なウェーハサイズ |
3インチ、4インチ、6インチ |
製品機能
Hemei Semiconductorの片面ラッピングおよび研磨機は、高度な技術と優れたパフォーマンスを組み合わせた半導体処理装置であり、片面ウェーハ向けの半導体製造企業の高精度ラッピングおよび研磨ニーズを満たすように設計されています。
優れたパフォーマンスディスプレイ
高精度のラッピング:Hemeiによって独立して開発された高精度のラッピングシステムを使用して、ラップディスクの平坦性は厳密な技術を通じて処理され、正確なモーター速度制御により、ナノメートルレベルのラッピング精度を実現できます。ウェーハをラップすると、表面材料を均一かつ正確に除去し、ウェーハの厚さの耐性を効果的に制御し、その後の処理ステップの安定した信頼できる基盤を提供します。
スーパーミラーの研磨:ウェーハの片側にスーパーミラーの研磨効果を実現するために、研磨溶液の供給と研磨頭の動きの軌跡を最適化するユニークな研磨技術。ウェーハ表面の粗さを大幅に減らし、表面欠陥を最小限に抑え、ウェーハの光学的および電気性能を大幅に改善し、ウェーハ表面品質のためのハイエンドチップ製造の厳格な要件を満たします。
革新的なテクノロジーのハイライト
インテリジェントウェーハポジショニングシステム:高度なインテリジェントな視覚認識モジュールを装備して、ウェーハのエッジの輪郭、位置決めマーク、およびその他の機能を迅速かつ正確に識別できます。処理前のウェーハの自動正確なアライメントにより、ラッピングおよび研磨プロセスが常にターゲット領域と整列し、処理の収量と生産効率が大幅に改善されます。
動的圧力規制技術:高精度の圧力センサーを装備し、ウェーハとラッピングおよび研磨ツールの間の接触圧力のリアルタイム監視。異なる材料、厚さ、およびウェーハの処理段階によると、インテリジェント制御システムは圧力を動的に調整して、処理プロセス全体でウェーハ表面が均一にストレスになるようにし、不適切な圧力によって引き起こされるウェーハの損傷を回避します。
製品の使用シナリオ
統合回路製造:大規模な統合回路の生産プロセスでは、ウェーハの平坦性と表面滑らかさに非常に高い要件が置かれています。 Hemeiの片面ラッピングおよび研磨機は、チップ製造におけるフォトリソグラフィやエッチングなどの主要なプロセスに高品質のウェーハを提供し、チップのパフォーマンスと信頼性を効果的に改善します。
パワー半導体生産:炭化シリコンや窒化ガリウムなどのパワー半導体ウェーハの処理のために、この機器は、優れた互換性と高精度処理機能を備えた、異なる材料の特別なラップと研磨ニーズを満たし、電力半導体の開発を促進するのに役立ちます業界。
アフターセールスサービス
プロのプリセールサポート:Hemeiの技術専門家チームは、生産プロセス、能力要件、および将来の開発計画を理解するために、顧客と深い通信を行います。顧客の実際の状況に基づいて、専門の機器選択の提案と詳細なプロセス計画を提供して、顧客が自分のニーズに合った最も適切な片面ラッピングおよび研磨機を選択できるようにします。
販売サービスの効率:生産部門は、国際的な基準と会社の内部品質管理システムの機器生産に厳密に従い、すべての片側ラッピングおよび研磨機が優れた品質を確保します。ロジスティクスチームは、専門的な輸送ソリューションを採用して、顧客への機器の安全で迅速な配信を確保しています。同時に、技術者は、機器の設置とデバッグを顧客のサイトに実行して、機器のスムーズな動作を確保します。
思慮深いアフターセールスケア:アフターセールス24×7のテクニカルサポートチームは常に待機中です。顧客が機器の障害や技術的な問題に遭遇すると、迅速に対応し、専門的なソリューションを提供できます。顧客に定期的にフォローアップして、機器の使用を理解し、顧客に機器のメンテナンスガイダンスを提供し、顧客が機器のサービス寿命を拡大し、機器の運用効率を向上させます。
会社の紹介
Hemei Semiconductorは、半導体機器製造の分野の重要な力であり、半導体業界に高品質の機器とソリューションの提供に焦点を当てています。
設立以来、ヘミーイは、半導体業界に情熱を注いで、テクノロジー、生産、市場に深く根ざしています。長年にわたり、鋭い洞察と継続的な革新により、私たちは激しく競争の激しい市場で確固たる確立を確立し、急速な発展を達成しました。
トップR&Dチーム:半導体テクノロジーや機械設計など、さまざまな分野の専門家を集めます。彼らは、豊かな経験と革新的な思考を備えた機器の研究開発に専念しています。片面ラッピングおよび研磨機の研究開発において、彼らはプロセスを研究し、パフォーマンスを最適化し、技術的な困難を克服します。
主要な技術的成果:継続的な研究開発を通じて、高精度のラッピング、インテリジェントウェーハの位置付け、動的圧力調節などのコアテクノロジーを習得しました。これらの技術は、片面ラッピングおよび研磨機に完全に適用され、機器の精度、効率、安定性が向上し、半導体製造に強力な技術サポートを提供します。
高性能製品:片面ラップおよび研磨機をコアとして使用すると、さまざまなウェーハ材料と互換性のある高精度のラッピングおよびウルトラミラー研磨機能を備えた機器の複数のモデルを作成し、統合された回路、パワー半導体、および統合された回路に高品質の処理サービスを提供します。他のフィールド。
包括的なサービスシステム:完全なプロセスサービスシステムを構築します。販売前に正確な機器の選択とプロセス計画を提供します。販売中の生産と輸送を厳密に制御し、現場で設置およびデバッグします。安定した生産を確保するための、24時間年中無休のアフターセールスの対応、フォローアップ、機器のメンテナンスに関するガイダンス。
その技術、製品、およびサービスの利点のおかげで、Hemei製品は世界中で広く使用されています。多数の有名な企業と協力し、優れたブランドイメージを確立し、半導体業界の発展を促進します。
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